Cible:
Cible de chrome, la cible de silicium monocristallin, la cible de silicium polycristallin, la cible de silice, la cible de titane, la cible de nickel, cible d'aluminium, cible de cuivre, la cible de zinc, cible d'étain, la cible de zirconium, la cible de cobalt, la cible de germanium, la cible de hafnium, de l'or cible, d'argent cible, cible de platine, le tantale cible, cible de niobium

Fluorure:
D'ytterbium fluoré (YbF3,), le fluorure d'yttrium (YF3), le fluorure de samarium (SnF3), le néodyme fluorure (Cdf3)
Fluorure de magnésium (MgF2), le fluorure de strontium (SrF3), le fluorure de potassium (KF), le fluorure de lanthane (LaF3),

Un mélange de:
Fluorure de cérium fluorure de calcium mélange (CeF3 + CaF 2), mélange de dioxyde de titane de l'oxyde de zirconium (ZrO 2 + TiO 2)
Dioxyde de titane oxyde de tantale mélange (TiO2 + Ta2O5) un mélange d'oxyde de magnésium et d'aluminium (Al2O3 + MgO),
Mélange d'oxyde d'indium d'oxyde d'étain (SnO2 N2O3 +), l'oxyde de zirconium, le mélange d'oxyde de tantale (Ta2O5 ZrO2 +)
Mélange d'oxyde de niobium-titane (TiO2 + Nb2O5), la zircone d'oxyde d'aluminium (Al2O3 ZrO2 +)

Autres matériaux:
Le cryolithe (Na3AlF6) de sulfure de zinc (ZnS), du titanate de strontium aluminium (Al), (d SrTiO3), titanate de baryum (BaTiO 3), le titanate de l'(PrTiO3) Pr, le titanate de lanthane (LaTiO3), CdS (de CdS ),
Deux praséodyme titanate (Pr (TiO3) 2)